日本AMAYA天谷制作所株式會(huì)社常壓CVD設(shè)備AMAX800V具有連續(xù)型的高生產(chǎn)率常壓CVD設(shè)備AMAX800V8英寸每小時(shí)100張的高吞吐量使用SiC托盤(pán)的重金屬污染對(duì)策和長(zhǎng)期穩(wěn)定的工藝提高可維護(hù)性特征通過(guò)改進(jìn)輸送機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高吞吐量