PFEIFFER分析儀氣體分析儀通過測量氣體成分的質(zhì)量-電荷比，獲得已經(jīng)過測試的氣體特征譜。在廣泛的真空應(yīng)用中，殘余氣體分析可提供關(guān)于真空系統(tǒng)條件方面的有用信息。氣體濃度和氣體混合物中各成分的分壓也可以通過校