日本YAMATO雅馬拓-等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
13. 56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE:DP雙模式。
特點
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
參考價 | 面議 |
日本YAMATO雅馬拓-等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
13. 56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE:DP雙模式。
特點
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
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