Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552

SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552基于軟硬件特點(diǎn)，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個(gè)系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。

• RS-232 MODBUS遠(yuǎn)程支持
  
• *多控制2臺臭氧發(fā)生器Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
• *多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
  
• *多控制4臺質(zhì)量流量控制器
  
• *多控制2臺背壓控制器
  
• *多控制2個(gè)EV閥
  
• *多控制1臺水冷卻器
  
• 系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
  
• 遠(yuǎn)程系統(tǒng)級別控制和狀態(tài)輸入/輸出

• 化學(xué)氣相沉積(CVD)Teledyne API臭氧發(fā)生器SCI-552
  
• 原子層沉積(ALD)
• 氧化物生長
  
• 表面處理
• 灰化
• 粒子清潔
  
• 光刻膠去除
• 其他

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