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日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES

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更新時間:2025-03-12 12:17:51瀏覽次數(shù):8

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產(chǎn)品簡介

日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES它是種數(shù)字質(zhì)量流雖設(shè)備,通過標準通信功能(RS 485)實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng),同時結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。EX-700EX-550小型質(zhì)量流量裝置(W76 x D30 x H76)高速應(yīng)答及出色的零點穩(wěn)定性□0-5V或4-20mA輸入

詳細介紹

日本KOFLOC小島-小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表 EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES

它是種數(shù)字質(zhì)量流雖設(shè)備,通過標準通信功能(RS 485)實現(xiàn)高精度和高速響應(yīng),同時結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速

繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。

EX-700

EX-550

  • 小型質(zhì)量流量裝置(W76 x D30 x H76)

  • 高速應(yīng)答及出色的零點穩(wěn)定性
    □0-5V或4-20mA輸入/輸出信號,電源
    可從±15 V或24 V單電源選擇

  • 電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器

  • 通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān),可以使用主機中登記的氣體類型。
    ※流量是與N2氣體的比率計算出的值

  • 標準配備通訊功能(RS485)

  • 符合RoHS?CE標準

圖片關(guān)鍵詞

EX-250S標準規(guī)格

形式質(zhì)量流量控制器
EX-250SC
質(zhì)量流量計

EX-250SM
傳感器方式熱繞組傳感器
閥門方式比例螺線管閥門(未通電時關(guān)閉)
目標氣體(* 1)N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等

(未列出的氣體換算成N2)
流量范圍(* 2)10 SCCM~5 SLM
控制范圍(測量范圍)2~100%(F.S.)
響應(yīng)速度總流量控制范圍在1sec內(nèi)(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3)±1.0%F.S.
再現(xiàn)性±0.2%F.S.
工作壓差(* 4)50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
*大入口壓力500kPa(G)
耐壓980kPa(G)
He泄漏率(* 5)1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度允許周圍溫度5~50℃
精度保證溫度15~35℃
允許儲存溫度-10~60℃
允許環(huán)境濕度10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼(* 6),PTFE,F(xiàn)KM
電氣連接Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
HR-10A
流量設(shè)定輸入信號0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
Or 4~20mA(輸入電阻約250Ω)
流量輸出信號0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
or 4~20mA(負載電阻500Ω以下)
數(shù)字通信通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需電源(DC)+15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都為100mA以下)
接頭(* 7)1/4F900(標準)
安裝姿勢推薦水平方向
重量(* 8)約500g約440g

(* 1)干燥氣體,不含腐蝕性成分和灰塵,霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量單位SCCM、SLM是將質(zhì)量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。

(* 3)流量范圍(*大滿量程)的精度。

(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。

(* 5)不含滲透。長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

(* 6)質(zhì)量流量計不使用磁性不銹鋼。

(* 7)如需其他接頭,請另行詢問。

(* 8)重量不含接頭。

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