高生產(chǎn)率常壓CVD系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)**的連續(xù)運(yùn)行AMAX800V8 英寸高吞吐量，每小時(shí) 100 張使用SiC托盤的重金屬污染對(duì)策和長(zhǎng)期穩(wěn)定的工藝提高可維護(hù)性特征通過(guò)改進(jìn)運(yùn)輸機(jī)制實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。SiH4、PH3、B2H6和O2從AMAX型分散頭分散后混合，經(jīng)過(guò)優(yōu)化，在低溫低壓下更有效地產(chǎn)生熱化學(xué)反應(yīng)。 可獲得優(yōu)良的膜厚均勻性和雜質(zhì)濃度均勻性。碳化硅托盤的使用使重金屬污染難以發(fā)生。 此外，由于受熱引起的老

特征

性能

涂層厚度均勻性	≦±3.0%
支持的晶圓尺寸	8寸
氣體種類	SiH4， O 2， PH3， B 2 H6， N 2
沉積溫度	350°C~450°C
生產(chǎn)力	100 ppm。

主要技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備尺寸	1460mm（寬） x 3830mm（深） x 2250mm（高）
加熱機(jī)制	電阻加熱
裝卸	機(jī)器人 CtoC 傳輸
分散頭（氣體噴嘴）	AMAX頭（標(biāo)配2頭，3頭可選）