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解決問(wèn)題超聲波傳感器助力監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體純水儲(chǔ)存罐液位

2021-11-03 08:43:54 來(lái)源：儀表網(wǎng) 閱讀量：6357

　　伴隨著芯片的集成度越來(lái)越高，半導(dǎo)體制造的先進(jìn)程度也逐漸提升。在芯片半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工過(guò)程中要不斷用水清洗，對(duì)水質(zhì)的純度要求特別高，要求達(dá)到ppb級(jí)別，所以為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧稀⒏呒儦怏w、高純化學(xué)藥品外，超純水也是其中非常關(guān)鍵的因素之一。

　　半導(dǎo)體包括芯片，存儲(chǔ)器等產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中需要經(jīng)歷上百道清洗程序，而為保證半導(dǎo)體精度，其工藝技術(shù)中要求用到純水清洗，清洗所需的超純水必須達(dá)到電子級(jí)，為了避免其中混入雜質(zhì)，而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品功能，進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能及壽命。

　　超聲波傳感器恰恰解決了這個(gè)問(wèn)題，超聲波傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測(cè)量，不僅做到非接觸測(cè)量，減少二次污染，還有超聲波傳感器特有的自適應(yīng)功能及濾波功能，達(dá)到精準(zhǔn)的液位檢測(cè)。

　　因此對(duì)工業(yè)清洗半導(dǎo)體的純水主要儲(chǔ)存在其內(nèi)部的儲(chǔ)水罐中對(duì)于其液位的控制非常重要，要求純水的液位高度保持恒定。而且是透明的特殊這一特性，其它的傳感器也很難做到如此有效精確檢測(cè)。

　　半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)儲(chǔ)水罐里面的原料是純水，透明且不帶導(dǎo)電性，要求無(wú)污染，還要求傳感器要做到精確檢測(cè)；除此之外存放純水的儲(chǔ)水罐是個(gè)封閉的容器，有些儲(chǔ)水罐里面帶有攪拌機(jī)構(gòu)以及進(jìn)水泵和出水泵，導(dǎo)致其液位或者料位在攪拌的過(guò)程中會(huì)波動(dòng)，這也為準(zhǔn)確測(cè)量液位或料位帶來(lái)困難。

　　利用超聲波傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控液位的高度，以此來(lái)保持儲(chǔ)水罐的水位高度恒定，從而跟進(jìn)純水的特性。

　　關(guān)于超聲波傳感器

　　超聲波傳感器是將超聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成其他能量信號(hào)(通常是電信號(hào))的傳感器。超聲波是振動(dòng)頻率高于20kHz的機(jī)械波。它具有頻率高、波長(zhǎng)短、繞射現(xiàn)象小，特別是方向性好、能夠成為射線(xiàn)而定向傳播等特點(diǎn)。超聲波對(duì)液體、固體的穿透本領(lǐng)很大，尤其是在陽(yáng)光不透明的固體中。超聲波碰到雜質(zhì)或分界面會(huì)產(chǎn)生顯著反射形成反射回波，碰到活動(dòng)物體能產(chǎn)生多普勒效應(yīng)。

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